光刻机(Photolithography Machine)是一种用于微电子芯片制造的关键设备。它是一种高精度的光学投影装置,用于将设计好的电子芯片图案转移到硅片(或其他半导体材料)上。 光刻机的工作原理是利用紫外光照射光刻胶(光敏感材料),然后通过光学透镜系统将光刻胶上的芯片图案投影到硅片上。这个过程需要高度精确的光学系统、光刻胶和控制技术。 光刻机在半导体工业中扮演着至关重要的角色...
发布时间:2025-10-31 浏览量:1