光刻机是一种非常重要的微电子制造设备，它可以将图形化的电路设计转换成实际的微电子元件。在微电子制造过程中，光刻机的作用非常重要，因为它可以将电路设计的微小结构映射到硅片上，从而形成微小的电路图案。在本文中，我们将探讨光刻机的工作原理、应用、发展历程以及未来发展趋势。 一、工作原理 光刻机的工作原理是基于光学投影技术的。它利用光学系统将电路设计的图案投影到硅片上，然后使用光敏材料制作出电路图案...

发布时间：2025-11-01 浏览量：1